三丰MitutoyoCS-5000CNC表面粗糙度仪
产品特点：•高精度触针型CNC表面测量仪可以同时进行表面粗糙度和形状/轮廓的测量。
•X1轴和Z2轴的*大驱动速度分别为40mm/s和200mm/s，可以高速定位，从而提高了多重轮廓/多工件测量的效率。
•X1 轴和Z1 轴上装有三丰激光全息光栅尺，从而可以实现高分辨力的轮廓/ 形状测量、表面粗糙度的批量测量。
•Z1轴检出器采用主动控制方式，减少Z1轴动态测力变化的同时扩展了测量范围。
•Z1轴检出器集成了防碰撞**装置，当仪器主体与工件或夹具发生碰撞时，检测装置可以自动停止工作。
•CS-5000CNC带有a轴，可以通过电动旋转X1轴连续测量水平面和倾斜面。
•带有Y轴工作台的型号，可沿Y轴进行多工件定位，从而增加了多工件测量范围。
•可选的外部控制功能(外部I/O)，与PLC实现双向通信(RS-232C)。
三丰MitutoyoCS-5000CNC表面粗糙度仪
技术参数：
货号
CS-5000CNC
CS-H5000CNC
X1 轴
测量范围
200mm
分辨力
0.00625µm
长度基准
激光全息测微计
驱动速度
CNC型
*大40mm/s
操纵杆
0 - 40mm/s
测量速度
0.02 - 0.2mm/s (表面粗糙度), 0.02 - 2mm/s (形状/轮廓)
测量方向
向前/ 向后
直线度
(使用标准测针)
(0.1+0.0015L)µm L: 驱动长度 (mm)
(0.05+0.0003L)µm L: 驱动长度 (mm)
(使用二倍长型测针)
(0.2+0.0015L)µm L: 驱动长度 (mm)
(0.1+0.0015L)µm L: 驱动长度 (mm)
精度 (20ºC)
±(0.3+0.002L)µm L: 驱动长度 (mm)
±(0.16+0.001L)µm L: 驱动长度 (mm)
Z1 轴 (检出器)
测量范围
(使用标准测针)
12mm
12µm
(使用二倍长型测针)
24mm
24µm
分辨力
(使用标准测针)
0.004 µm
0.001 µm
(使用二倍长型测针)
0.008 µm
0.002 µm
测针针尖垂直运动
弧形移动
长度基准
激光全息测微计
精度 (20ºC)
(20ºC) ±(0.3+|0.02H|)µm
H: 测量高度 (mm)
±(0.07+|0.02H|)µm
H: 测量高度 (mm)
测力
(使用标准测针)
4mN (固定)
(使用二倍长型测针)
0.75mN(固定)
跟踪角度
向上: 60º, 向下: 60º, (根据表面粗糙度)
测针针尖形状
标准测针
针尖角度: 40º, 针尖半径: 5µm, 金刚石针尖
标准球头测针
球头针尖半径: 0.25mm, 蓝宝石 2倍测针
2倍测针
针尖角度: 40º, 针尖半径: 5µm, 金刚石针尖
2倍测针
-
针尖角度: 60º, 针尖半径: 2µm,
金刚石针尖 2倍球头测针
2倍球头测针
球头针尖半径: 0.25mm, 蓝宝石
测针方向
向下
Z2 轴 (立柱)
行程范围
Z2 轴 (立柱, S 型)
300mm
Z2 轴 (立柱, H 型)
500mm-
分辨力
0.05µm
长度基准
反射型线性编码器
驱动速度
CNC型
*大200mm/s
操纵杆
0 - 50mm/s
基座尺寸 (W×D)
750×600mm
