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覆层测厚仪的基本原理与测量方法

    覆层测厚仪采用磁性法和涡流法的测厚仪向微型、智能、多功能、高精度、实用化发展。测量的分辨率已达0.1微米,精度可达到1%。它适用范围广,量程宽、操作简便且价廉,是工业和科研使用最广泛的测厚仪器。而且是无损测量,既不破坏覆层也不破坏基材,检测速度快,能使大量的检测工作经济地进行。其基本原理是结构由磁钢,接力簧,标尺及自停机构组成。磁钢与被测物吸合后,将测量簧在其后逐渐拉长,拉力逐渐增大。当拉力刚好大于吸力,磁钢脱离的一瞬间记录下拉力的大小即可获得覆层厚度。
    覆层厚度的测量方法主要有:楔切法、光截法、电解法、厚度差测量法、称重法、X射线荧光法、β射线反向散射法、电容法、磁性测量法及涡流测量法等。这些方法中前五种是有损检测,测量手段繁琐,速度慢,多适用于抽样检验。
    X射线和β射线法是无接触无损测量,但装置复杂昂贵,测量范围较小。因有放射源,使用者必须遵守射线防护规范。X射线法可测极薄镀层、双镀层、合金镀层。β射线法适合镀层和底材原子序号大于3的镀层测量。电容法仅在薄导电体的绝缘覆层测厚时采用。

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